Resumen:
En las últimas décadas la microfabricación ha llevado la miniaturización a niveles sorprendentes, desde la creación de circuitos integrados simples hasta sistemas microelectromecánicos (MEMS) en escala nanométrica. Dentro de la microfabricación, la litografía de superficie (de capas) es la técnica mas empleada.
Un circuito integrado se crea transmitiendo patrones de líneas, a través de mascaras que bloquean o dejan pasar la luz, sobre varias capas de materiales semiconductores sobre un sustrato. Cuando se pretendió crear estructuras, no en dos sino en tres dimensiones, la litografía de superficie presentó inconvenientes, debido al uso de las mascaras, por lo que fue necesario un cambio en el método para transmitir los patrones por un sistema de control digital. Un control digital da la libertad de moverse sobre cualquier punto del material utilizado. Esta herramienta también mejoró en forma significativa el proceso de fabricación de prototipos, en el que las mascaras significaban un gasto muy alto por tratarse de dispositivos de prueba.
