ANALISIS, DISEÑO Y FABRICACION DE ESTRUCTURAS MEMS CON PROCESAMIENTO DE SEÑAL PARA SENSADO DE GAS

Abstract

El siguiente trabajo presenta el reporte final de residencia profesional que realice en el Centro de investigación y de Estudios Avanzados del IPN (CINVESTAV-IPN), dentro del proyecto: análisis, diseño y fabricación de estructuras MEM con procesamiento de señal para sensado de gas. Este proyecto se lleva a cabo en el laboratorio de VLSI de la Sección de Electrónica del Estado Solido (SEES) del Departamento de Ingeniería Eléctrica del CINVESTAV, e incluye el estudio, diseño y fabricación de MEMS (micro-electro-mechanical-systems), siendo esta una de las áreas que están teniendo bastante interés a nivel nacional y que a nivel internacional se ha venido cultivando desde hace unos años. Su importancia deriva de la gran variedad de aplicaciones en la industria automotriz, aeronáutica, medicina, alimentos, comunicaciones, etc. Este proyecto está apoyado por el CONACYT con titulo “Diseño, simulación y fabricación de sensores de gas, basados en estructuras MEMS”. Este es un proyecto que tiene 5 años en desarrollo.